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    日本新宇宙COSMOS PS-7在线式气体监测仪

    产品型号: PS-7
    品  牌: 日本新宇宙COSMOS
      价格电议,您可以向供应商询价得到该产品价格
    所 在 地: 广东深圳
    更新日期: 2020-09-16
    详细信息
    日本新宇宙COSMOS PS-7在线式气体监测仪
    型号:新宇宙式特气检测部 PS-7(半导体工厂用)
    特性:专为半导体行业定制,传感器自由更换,维护方便
    检测对象:半导体材料气体
    检测方式:
    特点: 带有气体采样流量自动控制功能
    LCD显示,现场状态一目了然
    实现小型、轻量化
    可简单地更换传感器和采样气路
    带有防止传感器单元错误插入的功能
    可以设定多样的维护模式
    组合对应热分解单元与定电位电解式传感器,能检测NF3等
    实现了用PDA读取数据
    符合CE规格,SEMI规格
    日本新宇宙COSMOS PS-7在线式气体监测仪

    型号

    PS-7

    标准型

    附带转换器组件型

    检测原理

    •定电位电解式、热丝型半导体式、隔膜电流电池式
    •热分解+定电位电解式

    采样方式

    泵吸引式(0.5L/min吸引流量 自动控制)

    采样配管

    特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内

    气体浓度显示

    液晶数字四位显示(附带单位)20分割条形图

    报警接点

    •气体报警(1段以及二级) 报警、红色液晶指示灯闪烁、液晶画面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2显示
    •流量降低报警 堵塞指示显示:流量显示为低速运转 报警:黄色LED指示灯闪烁 :液晶画面 FLOW显示以及流量显示为停止运转状态
    •传感器故障报警/传感器误插入报警 报警:黄色LED指示灯闪烁 :液晶画面 SENS.显示 •热分解炉断线报警 报警:黄色LED指示灯闪烁 :液晶画面 CONV.显示

    外部输出

    气体浓度模拟输出 DC4~20mA(与电源的负极通用) 气体报警接点(1段以及两极) 1a无电压接点/自动复位 故障报警接点 (开路集电极/自动复位)

    适合电缆线

    控制用屏幕电缆线(Φ8~11mm)x2 3芯或者4芯 使用温度湿度范围 0℃~40℃(但是不能有剧烈的温度变化)、30~85%RH(但不能结露)

    使用电源

    DC24V±10%

    消耗电力

    约7w

    尺寸

    •W62xH124xD143mm(除去突起物)
    •W62xH124xD143mm(除去选购件和突起物)

    重量

    约1.0kg

    安装方法

    壁挂式
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